真空泵的選用
1、真空泵的工作壓�(qiáng)�(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓�(qiáng)要求。如:真空鍍膜要�1×10-5mmHg的真空度,選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空�(shè)備真空度半�(gè)到一�(gè)�(shù)量級(jí)�
2、正確地選擇真空泵的工作�(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,如:擴(kuò)散泵�10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓�(qiáng)范圍�(nèi),泵的抽速隨壓強(qiáng)而變�,其�(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍�5×10-4~5×10-6mmHg。因�,泵的工作點(diǎn)�(yīng)該選在這�(gè)范圍之內(nèi),而不能讓它在10-8mmHg下長(zhǎng)期工�。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作壓強(qiáng)�(yīng)小于1×10-5mmHg為好�
3、真空泵在其工作壓強(qiáng)�,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中�(chǎn)生的全部氣體��
真空泵的選用
4、正確地組合真空�。由于真空泵有選擇性抽�,因�,有�(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來(lái),互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要�。如鈦升華泵�(duì)氫有很高的抽速,但不能抽�,而三極型濺射離子��(或二極型非對(duì)�(chēng)陰極濺射離子�)�(duì)氬有一定的抽�,兩者組合起�(lái),便�(huì)使真空裝置得到較好的真空�。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓�(qiáng)低于大氣�,需要前�(jí)�,故都需要把泵組合起�(lái)使用�
5、真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若�(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí),應(yīng)該選各種�(wú)油泵,如:水�(huán)�、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵�。如果要求不�(yán)格,可以選擇有油�,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障�、擋油阱�,也能達(dá)到清潔真空要求�
6、了解被抽氣體成�,氣體中含不含可凝蒸�,有�(wú)顆粒灰塵,有�(wú)腐蝕性等。選擇真空泵�(shí),需要知道氣體成�,針�(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆�、及腐蝕性氣�,應(yīng)該考慮在泵的�(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)�,如冷凝�、除塵器��
7、真空泵排出�(lái)的油蒸氣�(duì)�(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污�,可以選�(wú)油真空泵,或者把油蒸氣排到室��
8、真空泵工作�(shí)�(chǎn)生的振動(dòng)�(duì)工藝�(guò)程及�(huán)境有�(wú)影響。若工藝�(guò)程不允許,應(yīng)選擇�(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施�
9、真空泵的價(jià)�、運(yùn)�(zhuǎn)及維修費(fèi)��
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